[发明专利]一种柔性薄膜晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 201710776518.8 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109427911B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 来春荣;宗记文 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/423;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性薄膜晶体管及其制备方法。该柔性薄膜晶体管包括：基板；有源层，形成在基板上方；栅极，形成在有源层上方；以及有机绝缘层，形成在栅极上方。本发明减小了层间介电层的应力，降低了层间介电层的整体厚度，进而提升柔性显示屏的可弯折程度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性薄膜晶体管，其特征在于，包括：基板；有源层，形成在所述基板上方；栅极，形成在所述有源层上方；以及有机绝缘层，形成在所述栅极上方。
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