[发明专利]基板清洗装置

摘要

本发明涉及在喷射由液体与气体混合的混合流体的同时清洗基板时，可提高对所述基板的清洗效率，并且能够减少使用能源的基板清洗装置。为此，本发明提供一种基板清洗装置，包括：基板清洗部、压缩气体供应部、超纯水供应部、排气储罐单元、废水储罐单元、第一热交换单元、第二热交换单元。

主权项

一种基板清洗装置，其特征在于，包括：基板清洗部，清洗被污染的基板；压缩气体供应部，配置在所述基板清洗部外部，并且容纳供应于所述基板清洗部的压缩气体；超纯水供应部，配置在所述基板清洗部外部，并且容纳供应于所述基板清洗部的超纯水；排气储罐单元，与所述基板清洗部连接，并且容纳所述基板清洗部产生的排气；废水储罐单元，与所述基板清洗部连接，并且容纳所述基板清洗部产生的废水；第一热交换单元，配置在所述排气储罐单元与所述压缩气体供应部之间，对所述排气与所述压缩气体进行热交换；以及第二热交换单元，配置在所述废水储罐单元与所述超纯水供应部之间，对所述废水与所述超纯水进行热交换。