[发明专利]光扫描装置以及光扫描装置的制造方法有效
| 申请号： | 201710791473.1 | 申请日： | 2017-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN107884925B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 丸山佑纪;山田司 | 申请（专利权）人： | 三美电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;郭成周 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光扫描装置以及光扫描装置的制造方法，能够减少光扫描装置的破损、材料疲劳。一实施方式的光扫描装置具备具有光反射面的反射镜、支撑上述反射镜的可动框、从两侧支撑上述可动框的一对驱动梁、设置于上述驱动梁并使上述可动框绕预定的轴摆动的驱动源、支撑上述驱动梁的固定框，上述驱动源具备形成在上述驱动梁上的下部电极、形成在上述下部电极上的压电薄膜、形成在上述压电薄膜上的上部电极、形成在上述上部电极上或上述压电薄膜与上述上部电极之间并在上述驱动梁上产生压缩应力的反应力膜。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 装置 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光扫描装置，其特征在于，具备：具有光反射面的反射镜；支撑上述反射镜的可动框；从两侧支撑上述可动框的一对驱动梁；设置于上述驱动梁并使上述可动框绕预定的轴摆动的驱动源；以及支撑上述驱动梁的固定框，上述驱动源具备：形成在上述驱动梁上的下部电极；形成在上述下部电极上的压电薄膜；形成在上述压电薄膜上的上部电极；以及形成于上述上部电极或上述压电薄膜与上述上部电极之间，并在上述驱动梁上产生压缩应力的反应力膜。
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