[发明专利]一种前级真空系统以及抽真空控制方法

摘要

本发明公开了一种前级真空系统以及抽真空控制方法。本发明中，仅采用一个前级真空泵通过主干路管道向各个分支管道及真空应用系统进行抽真空。与现有技术相比，仅需要一台前级真空泵即可完成对多路真空应用系统的前级抽真空操作，降低了成本，同时，因为通过管道连接，真空泵可以放到距离各个真空应用系统十几米至几十米远处，进而减少了空间占用，减轻了工作噪音，另外，在真空泵与管道以及管道与真空应用系统的连接处加装双波纹管，进而大幅降低从真空泵传递到真空应用系统的震动，本发明实施例中采用的总控制机柜连接中转站、中转站连接临近的子系统及下一个中转站的分层次布线方式使得线路简洁。

主权项

1.一种抽真空控制方法，用于前级真空系统，所述前级真空系统，包括：主干路管道；真空泵，所述真空泵连接于所述主干路管道，以对所述主干路管道抽真空；支路管道，所述支路管道为至少一路，各路所述支路管道分别通过各自的安全阀连接于所述主干路管道，并且，各路所述支路管道分别连接至各个真空应用系统；真空规，所述真空规为至少两个，分别安装于所述主干路管道以及各路所述支路管道中，以分别监测所述主干路管道和各路所述支路管道内的气压值；以及，控制机，所述控制机连接至每个所述真空规、每个所述安全阀，以获取所述主干路管道和各路所述支路管道内的气压值，并根据所述主干路管道和各路所述支路管道内的气压值控制每个所述安全阀，以在不影响其它真空应用系统的情况下对指定的真空应用系统抽真空；所述方法包括：利用所述真空泵对主干路管道抽真空至设定气压值；检测待抽真空的真空应用系统的支路管道中的气压值；若待抽真空的真空应用系统的支路管道中的气压值低于第一气压阈值，则直接打开该支路管道的安全阀以通过所述主干路管道对该真空应用系统抽真空，否则，先关闭其它真空应用系统的支路管道的安全阀，再打开该支路管道的安全阀以通过所述主干路管道对该真空应用系统抽真空。