[发明专利]一种边缘曝光装置及边缘曝光方法

摘要

本发明公开了一种边缘曝光装置及边缘曝光方法，边缘曝光装置设置于显影装置的入口区，边缘曝光装置包括驱动器，遮光板以及曝光灯，驱动器分别与设置在显影装置入口外的基板传送装置以及遮光板相连接，曝光灯位于遮光板的上方；驱动器用于在检测到基板传送装置移动时，根据传送的基板类型控制遮光板的透光区域的打开面积，通过曝光灯对所述基板的预设边缘区域进行曝光；本发明采用的边缘曝光装置结构简单、操作方便且精度高，相比传统的边缘曝光机机台，本发明的边缘曝光装置还具有成本低、维护容易、边缘曝光装置量产高及生产周期短等优点。

主权项

一种边缘曝光装置，其特征在于，所述边缘曝光装置设置于显影装置的入口区，所述边缘曝光装置包括驱动器，遮光板以及曝光灯，所述驱动器分别与设置在所述显影装置入口外的基板传送装置以及所述遮光板相连接，所述曝光灯位于所述遮光板的上方；所述驱动器用于在检测到所述基板传送装置移动时，根据传送的基板类型控制所述遮光板的透光区域的打开面积，通过所述曝光灯对所述基板的预设边缘区域进行曝光。