[发明专利]干涉仪及其成像方法

摘要

干涉仪及其成像方法，适于检测一待测样品。该干涉仪包括：一光源，提供一光束；一分光元件，接收光源所发出的光束，并将光束分成一第一入射光及一第二入射光，其中第一入射光入射至待测样品并反射成一第一反射光；一反射元件，接收第二入射光并反射成一第二反射光；一光检测元件，接收第一反射光与第二反射光，以产生一干涉信号；一信号处理模块，耦接至光检测元件，信号处理模块接收干涉信号并对干涉信号进行空间微分处理，以得到待测样品的一解调图像。

主权项

一种具解调功能的干涉仪，适于检测一待测样品，该干涉仪包括：光源，提供一光束；分光元件，接收该光源所发出的光束，并将该光束分成第一入射光及第二入射光，其中该第一入射光入射至该待测样品并反射成第一反射光；反射元件，接收该第二入射光并反射成第二反射光；光检测元件，接收该第一反射光与该第二反射光，以产生一干涉信号；以及信号处理模块，耦接至该光检测元件，该信号处理模块接收该干涉信号并对该干涉信号进行空间微分处理，以得到该待测样品的解调图像。