[发明专利]处理液供给装置

摘要

本发明提供一种能够与装置内的各部分的位置关系、配管、设置条件等无关地利用过滤器适当地去除处理液内的微粒的处理液供给装置。抗蚀剂液供给装置对涂布喷嘴供给抗蚀剂液，所述抗蚀剂液供给装置具备：缓冲罐，其暂时贮存从用于贮存抗蚀剂液的抗蚀剂液供给源供给的处理液；过滤器，其设置于涂布喷嘴与缓冲罐之间，用于将抗蚀剂液中的异物去除；以及泵，其将被过滤器去除异物后的抗蚀剂液向涂布喷嘴送出，其中，缓冲罐具有对贮存于该缓冲罐中的抗蚀剂液进行加压搬送的加压搬送功能。

主权项

一种处理液供给装置，对用于向被处理体喷出处理液的处理液喷出部供给处理液，所述处理液供给装置的特征在于，具备：暂时贮存装置，其暂时贮存从用于贮存处理液的处理液供给源供给的处理液；过滤器，其将来自所述暂时贮存装置的处理液中的异物去除；以及泵，其将被该过滤器去除异物后的处理液向所述处理液喷出部送出，其中，所述暂时贮存装置具有对贮存于该暂时贮存装置中的处理液进行加压搬送的加压搬送功能。