[发明专利]一种恒温可控镀膜机

摘要

本发明提供了一种新型恒温可控镀膜机，包括真空炉室及其内部的工件台，所述真空炉室由炉顶、炉底、内筒体及外筒体组合而成，所述内筒体与外筒体间留有夹层空间；所述层状空间内设有若干交替设置的第一竖直凸条和第二竖直凸条以形成循环流通通道；所述外筒体上的进水管道和出水管道上均设有流量控制阀，炉顶上固定有热电偶，流量控制阀及热电偶分别与控制器相连。本发明对现有的可冷却镀膜机进行了结构优化改进，其结构及制作简单，成本低，通过控制冷却水流量进而控制真空室工作温度，可实现镀膜机真空室在一定的恒温状态下进行连续的工作，且工作稳定性好。

主权项

1.一种恒温可控镀膜机，包括真空炉室及其内部的工件台，其特征在于：所述真空炉室由炉顶、炉底、内筒体及外筒体组合而成，所述内筒体设置在外筒体内且内筒体的外侧面与外筒体的内侧面间留有层状空间，内筒体及外筒体的顶端与炉顶间密封连接，底端与炉底间密封连接；所述工件台下方设有固定台，工件台底部中间位置还设有被动齿轮，所述固定台上设有与被动齿轮相啮合的主动齿轮，此主动齿轮由固定台下方的电机相连；所述固定台通过连接杆与炉底下方的升降机构相连；所述层状空间内设有若干交替设置的第一竖直凸条和第二竖直凸条，相邻第一竖直凸条与第二竖直凸条间形成流通通道，所述第一竖直凸条和第二竖直凸条的内侧面分别与内筒体的外侧面密封接触连接，外侧面分别与外筒体的内侧面密封接触连接；所述第一竖直凸条的顶端与炉顶间密封接触连接，底端与炉底间留有第一通道间隙，所述第二竖直凸条的底端与炉底间密封接触连接，顶端与炉顶间留有第二通道间隙；所述第一竖直凸条和第二竖直凸条与内筒体为一体成型，且均为金属材质；所述外筒体一侧下方设有与相应流通通道相连通的进水管道，另一侧上方设有与相应流通通道相连通的出水管道；所述进水管道上设有第一流量控制阀，所述出水管道上设有第二流量控制阀，所述炉顶上固定有插入真空炉室内部的热电偶，所述第一流量控制阀、第二流量控制阀及热电偶分别与一控制器相连。