[发明专利]纳米多孔金/二氧化锰复合电极材料的制备方法有效

专利信息
申请号: 201710833497.9 申请日: 2017-09-15
公开(公告)号: CN107622878B 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 余金山;李吉;周新贵;王洪磊;刘海山 申请(专利权)人: 中国人民解放军国防科技大学
主分类号: H01G11/86 分类号: H01G11/86;H01G11/36;H01G11/46
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 黄丽
地址: 410073 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种纳米多孔金/二氧化锰复合电极材料的制备方法,该制备方法包括:(1)取Au35Ag65合金薄膜进行脱合金化处理,制备纳米多孔金薄膜;(2)将纳米多孔金薄膜采用原子层沉积方法进行处理,以Mn(thd)3和臭氧为前驱体,反应温度控制在150℃~250℃,经Mn(thd)3脉冲、N2清洗、O3脉冲和N2清洗,如此沉积500~5000个循环,在纳米多孔金薄膜的内外表面均匀沉积二氧化锰,得到纳米多孔金/二氧化锰复合电极材料。本发明的复合电极材料具有良好的比电容特性,结构可控且性能稳定。
搜索关键词: 纳米 多孔 二氧化锰 复合 电极 材料 制备 方法
【主权项】:
一种纳米多孔金/二氧化锰复合电极材料的制备方法,包括以下步骤:(1)制备纳米多孔金薄膜:取Au35Ag65合金薄膜进行脱合金化处理,得到具有纳米多孔结构的纳米多孔金薄膜;(2)制备纳米多孔金/二氧化锰复合电极材料将步骤(1)得到的纳米多孔金薄膜采用原子层沉积方法进行处理,以Mn(thd)3和臭氧为前驱体,反应温度控制在150℃~250℃,抽真空至0.6Torr~2Torr,Mn(thd)3脉冲0.5s~5s,N2清洗5s~15s,O3脉冲0.01s~0.05s,N2清洗15s~30s,如此沉积500~5000个循环,在纳米多孔金薄膜的内外表面均匀沉积二氧化锰,沉积完成后,得到纳米多孔金/二氧化锰复合电极材料。
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