[发明专利]一种旋转靶材热喷涂系统及方法有效
申请号: | 201710841050.6 | 申请日: | 2017-09-18 |
公开(公告)号: | CN107893209B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 郑成添;刘剑辉;潘国飞;区汉初;李志刚 | 申请(专利权)人: | 佛山先进表面技术有限公司 |
主分类号: | C23C4/137 | 分类号: | C23C4/137;C23C14/34 |
代理公司: | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人: | 谭健洪;莫瑶江 |
地址: | 528244 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种旋转靶材热喷涂系统,包括密封喷涂仓,密封喷涂仓内设置有工件旋转机构和喷枪操作机构,喷枪操作机构设置于工件旋转机构下方;还包括除尘器、风机、换热装置,除尘器连接于密封喷涂仓的出风口,风机连接除尘器的出风口,密封喷涂仓、除尘器、风机通过通风管路形成一闭合回路,换热装置设置于通风管路上,通风管路贯穿换热装置;还包括真空泵与氮气进气口,真空泵与氮气进气口分别通过管道连通密封喷涂仓。该系统设计简明高效,涂层氧化物含量低,对粉尘处理彻底,无环境污染,设备制作简单,具有良好的处理加工效果及经济效益。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋转 靶材热 喷涂 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种旋转靶材热喷涂系统,其特征在于:包括密封喷涂仓,所述密封喷涂仓内设置有工件旋转机构和喷枪操作机构,所述喷枪操作机构设置于所述工件旋转机构下方;还包括除尘器、风机、换热装置,所述除尘器连接于密封喷涂仓的出风口,所述风机连接除尘器的出风口,所述密封喷涂仓、除尘器、风机通过通风管路形成一闭合回路,所述换热装置设置于通风管路上,所述通风管路贯穿所述换热装置;还包括真空泵与氮气进气口,所述真空泵与氮气进气口分别通过管道连通所述密封喷涂仓,所述真空泵的连通管道上设置有第一电动蝶阀,所述氮气进气口处设置有第二电动蝶阀,所述密封喷涂仓出风口与除尘器之间设置有第三电动蝶阀。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
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