[发明专利]一种用于TFT‑LCD光刻胶高效清洗剂在审
申请号: | 201710851484.4 | 申请日: | 2017-09-19 |
公开(公告)号: | CN107608182A | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 白航空 | 申请(专利权)人: | 合肥惠科金扬科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于TFT‑LCD光刻胶高效清洗剂,其是由以下质量百分比的原料组成季铵氢氧化物7‑18%、吡咯烷酮类溶剂5‑14%、季戊四醇2‑3%、醇胺9‑12%、间苯二酚5‑8%、表面活性剂1‑3%以及有机溶剂65‑70%。与现有技术相比,本发明的有益效果是本发明选用合适的季铵氢氧化物/醇胺的比例有利于协调光刻胶去除能力和金属微球的防腐蚀;通过采用的吡咯烷酮类溶剂和季戊四醇的复合溶剂体系,提高了光刻胶的去除能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 tft lcd 光刻 高效 洗剂 | ||
【主权项】:
一种用于TFT‑LCD光刻胶高效清洗剂,其特征在于,其是由以下质量百分比的原料组成:季铵氢氧化物7‑18%、吡咯烷酮类溶剂5‑14%、季戊四醇2‑3%、醇胺9‑12%、间苯二酚5‑8%、表面活性剂1‑3%以及有机溶剂65‑70%。
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