[发明专利]磷化铟多晶合成的压力控制装置及方法在审
| 申请号： | 201710854756.6 | 申请日： | 2017-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN107747125A | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 白平平;朱刘 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/40 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种磷化铟多晶合成的压力控制装置，所述压力控制装置包括一压力容器、置于压力容器内的一石英管、位于压力容器内用于供石英管加热的多温区加热器、连接于石英管一端的一膜片、用于测量膜片形变量的一位移传感器、一控制系统以及用于压力容器抽真空的一真空泵，所述压力容器设有一充气阀组、一放气阀组和一压力传感器，所述位移传感器位于石英管外并与膜片紧贴，所述控制系统与位移传感器电性连接。本发明一种磷化铟多晶合成的压力控制装置及方法，能够安全、精确的控制石英管内外的压力差小于0.1MPa，解决饱和蒸汽压方程中压力和温度对应关系在实际应用时的缺陷，适于规模化工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 磷化 多晶 合成 压力 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种磷化铟多晶合成的压力控制装置，其特征在于：所述压力控制装置包括一压力容器、置于压力容器内的一石英管、位于压力容器内用于供石英管加热的一多温区加热器、连接于石英管一端的一膜片、用于测量膜片形变量的一位移传感器、一控制系统以及用于压力容器抽真空的一真空泵，所述压力容器设有一充气阀组、一放气阀组和一压力传感器，所述位移传感器位于石英管外并与膜片紧贴，所述控制系统与位移传感器电性连接。
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