[发明专利]一种单晶炉拉晶生产工艺及单晶炉极限真空值获得方法有效
| 申请号： | 201710857483.0 | 申请日： | 2017-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN107761164B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 霍志强;马国瑞;郭谦;许建;陈培杰;吴若林;梁山;贾海洋;谷守伟;杨瑞峰 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李成运 |
| 地址： | 010070 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种单晶炉拉晶生产工艺，包括以下步骤：1)、测得单晶炉抽真空m分钟时极限真空值(m＜n，n为常规单晶炉拉晶生产抽真空时间)；2)、单晶炉装料合炉后，抽真空m分钟，检测炉内真空值，若该检测值≤极限真空值，则炉体密封合格，生产继续，若该检测值＞极限真空值，则炉体密封不合格，需要对炉体进行测漏检修，直至炉体密封合格后进行后续生产。本发明所述的一种单晶炉拉晶生产工艺，合炉后真空度值和极限真空值进行比较，由此判断炉体的密封性，便于操作，优化了工艺路线，节省了拉晶时间，提高生产效率，给生产这带来很大经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉拉晶 生产工艺 单晶炉 极限 真空 获得 方法 | ||
【主权项】：
一种单晶炉拉晶生产工艺，其特征在于：包括以下步骤：1)、测得单晶炉抽真空m分钟时极限真空值(m＜n，n为常规单晶炉拉晶生产抽真空时间)；2)、单晶炉装料合炉后，抽真空m分钟，检测炉内真空值，若检测值≤极限真空值，则炉体密封合格，生产继续，若该检测值＞极限真空值，则炉体密封不合格，需要对炉体进行测漏检修，直至炉体密封合格后进行后续生产。
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