[发明专利]回收配管清洗方法以及基板处理装置

摘要

本发明提供能防止或抑制清洗液进入到药液回收配管，并能降低清洗用药液的消耗量的回收配管清洗方法及基板处理装置。该方法为清洗回收配管的方法，在基板处理中使用过的药液经由处理杯引导至回收配管，回收配管将引导至该回收配管的药液向预先设定的药液回收配管引导，包括：配管清洗工序，通过对回收配管供应清洗液并且将被引导至回收配管的液体引导至与药液回收配管不同的排液配管，从而用清洗液清洗所述回收配管内；清洗用药液供应工序，配管清洗工序后，为了将回收配管内存在的清洗液替换为与药液同种的清洗用药液，将被引导至回收配管的液体引导至所述排液配管，并且对回收配管供应来自与回收配管相连的清洗用药液供应配管的清洗用药液。

主权项

一种回收配管清洗方法，其为对回收配管进行清洗的方法，在基板处理中使用过的药液经由处理杯被引导至所述回收配管，所述回收配管将引导至该回收配管的药液向预先设定的药液回收配管引导，该回收配管清洗方法包括：配管清洗工序，通过向所述回收配管供应清洗液，并且将引导至所述回收配管的液体向与所述药液回收配管不同的排液配管引导，来用清洗液对所述回收配管内进行清洗，清洗用药液供应工序，在所述配管清洗工序后，为了将存在于所述回收配管内的清洗液替换为与所述药液相同种类的清洗用药液，将引导至所述回收配管的液体向所述排液配管引导，并且向所述回收配管供应来自与所述回收配管相连接的清洗用药液供应配管的清洗用药液。