[发明专利]金属焊点表面的刻蚀方法在审

专利信息
申请号: 201710887932.6 申请日: 2017-09-27
公开(公告)号: CN109559995A 公开(公告)日: 2019-04-02
发明(设计)人: 张涛杰 申请(专利权)人: 东莞新科技术研究开发有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫
地址: 523087 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明的金属焊点表面的刻蚀方法,包括:在金属焊点表面上形成光刻保护层;将该金属焊点表面进行预清洗;将该金属焊点表面置于处理室并调整处理室的真空度;向处理室通入刻蚀气体并形成离子束,所述离子束在金属焊点表面上形成凹凸部,所述凹凸部的高点和低点的纵向高度差为30‑50A,横向距离为0.2‑3μm。该刻蚀方法能提高焊点表面的粗糙度,从而提高焊料的附着力,减少返工率,进而提高焊接性能。
搜索关键词: 金属焊点 刻蚀 凹凸部 离子束 附着力 焊料 光刻保护层 调整处理 焊点表面 焊接性能 横向距离 刻蚀气体 粗糙度 高度差 预清洗 低点 返工
【主权项】:
1.一种金属焊点表面的刻蚀方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在金属焊点表面上形成光刻保护层;(2)将该金属焊点表面进行预清洗;(3)将该金属焊点表面置于处理室并调整处理室的真空度;(4)向处理室通入刻蚀气体并形成离子束,所述离子束在金属焊点表面上形成凹凸部,所述凹凸部的高点和低点的纵向高度差为30‑50A,横向距离为0.2‑3μm。
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