[发明专利]结构物有效
| 申请号： | 201710888647.6 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN108069717B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 芦泽宏明;清原正胜 | 申请（专利权）人： | TOTO株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/553 | 分类号： | C04B35/553;C04B35/622;C04B35/624 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;王玉玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明所要解决的技术课题在于提供可提高耐等离子体性的结构物。具体而言，在于提供如下结构物：以具有斜方晶的结晶结构的钇氧氟化物的多晶体为主成分，且所述多晶体中的平均结晶尺寸小于100nm，其特征在于，通过X射线衍射在衍射角2θ＝32.0°附近检测到的峰值强度为γ，在衍射角2θ＝32.8°附近检测到的峰值强度为δ时，峰值强度比γ/δ为0％以上、150％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 | ||
【主权项】：
1.一种结构物，以具有斜方晶的结晶结构的钇氧氟化物的多晶体为主成分，且所述多晶体中的平均结晶尺寸小于100nm，其特征在于，通过X射线衍射在衍射角2θ＝32.0°附近检测到的峰值强度为γ，在衍射角2θ＝32.8°附近检测到的峰值强度为δ时，峰值强度比γ/δ为0％以上、150％以下。
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