[发明专利]宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法

摘要

本发明提供了一种宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法，包括：步骤一、在制作宽带增透膜成品之前，进行预判断操作；预判断操作包括以下步骤：S11、建立宽带增透膜设计品的反射率R1的计算公式；S12、首先命然后命λ0＝10N0；S13、首先计算N0＝N0+1，然后重置λ0＝10N0；S14、计算得到宽带增透膜设计品的反射率R1；S15、判断宽带增透膜设计品的反射率R1是否在范围(R0‑a,R0+a)内；S16、判断N0是否等于S17、预判断结果为未发现设计错误，预判断操作结束。宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法解决了现有技术中因需要制作出宽带增透膜成品来检测设计出的宽带增透膜的透过率和反射率而导致宽带增透膜的各膜层设计正确性判断工作耗时较长且增加成本的问题。

主权项

一种宽带增透膜的各膜层设计正确性判断方法，其特征在于，包括：步骤一、在制作宽带增透膜成品之前，进行预判断操作；具体地，预判断操作包括以下步骤：S11、建立宽带增透膜设计品的反射率R1的计算公式，宽带增透膜设计品为按照设计的层状结构关系、各层设计材料以及各层设计厚度得到的理想宽带增透膜，合成的振幅反射系数R1的计算公式如下：R1=r1+r2e-i2δ1+r3e-i2(δ1+δ2)+r4e-i2(δ1+δ2+δ3)+...+rNe-i2(δ1+δ2+...+δN-1)+rN+1e-i2(δ1+δ2+...+δN-1+δN+1)]]>其中，r为合成的振幅反射系数；r1为基板的反射系数；r2为第一层膜层的反射系数；r3为第二层膜层的反射系数；r4为第三层膜层的反射系数；δ1为第一层膜层向量角度；δ2为第二层膜层的向量角；δ3为第二层膜层的向量角；n1为第一层膜层的折射率，d1第一层膜层的设计厚度；n2为第二层膜层的折射率，d2第二层膜层的设计厚度；n3为第三层膜层的折射率，d3第三层膜层的设计厚度；N基板上膜层的数量；λ0为所要计算的波长点；S12、首先命然后命λ0＝10N0；其中，λ1为所需要透过光的最小波长且单位为nm，当为整数时，当有余数时，取小于的第一个整数；S13、首先，计算N0＝N0+1，并重置λ0＝10N0；S14、计算得到宽带增透膜设计品的反射率R1；S15、设计时目标宽带增透膜的反射率为R0，判断宽带增透膜设计品的反射率R1是否在范围(R0‑a,R0+a)内，其中，a为允许误差值，若在范围内，则进行步骤S16；若不在范围内，则判断为此宽带增透膜的设计不正确；S16、判断N0是否等于λ2为所需要透过光的最大波长且单位为nm，当为整数时，当有余数时，取大于的第一个整数；若是，则进行步骤S17；若否，则进行步骤S13；S17、预判断结果为未发现设计错误，预判断操作结束。