[发明专利]一种用于密封真空腔室冷却设备的密封装置及其拆卸方法

摘要

本发明属于真空镀膜设备领域，尤其涉及一种用于密封真空腔室冷却设备的密封装置及其拆卸方法。该装置包括两个密封结构和一个冷却设备；密封结构包括刀口法兰组件、套筒以及设于套筒内的密封垫圈组件，刀口法兰组件的第一端面无缝连接于真空腔室的外侧壁，刀口法兰组件的第二端面与套筒的第一端口边缘无缝连接；刀口法兰组件包括多个可拆卸连接的刀口法兰；冷却设备包括冷却水管，冷却水管依次穿过两个密封结构。该拆卸方法为将相邻两个刀口法兰之间的连接处拆开，即可将套筒和密封圈组件从真空腔室上拆除。本发明的密封结构设于真空腔室外部，密封结构与冷却设备彼此独立，任何一者需拆装维护时，都可以单独操作，灵活方便，彼此间不存在干扰。

主权项

1.一种用于密封真空腔室冷却设备的密封装置，所述冷却设备包括冷却水管，其特征在于，包括：两个密封结构，所述密封结构包括刀口法兰组件、套筒以及设于所述套筒内的密封垫圈组件，所述刀口法兰组件的第一端面无缝连接于真空腔室的外侧壁，所述刀口法兰组件的第二端面与所述套筒的第一端口边缘无缝连接；所述刀口法兰组件包括多个刀口法兰，相邻两个所述刀口法兰的端面之间可拆卸地连接；所述冷却水管依次穿过一个所述密封结构的密封垫圈组件、刀口法兰组件进入真空腔室内部，然后穿过另一个所述密封结构的刀口法兰组件和密封垫圈组件；所述密封垫圈组件包括自套筒第二端口至套筒第一端口依次沿套筒轴向设置的第一垫片、密封圈组件和第二垫片。