[发明专利]掩膜装置、蒸镀设备及蒸镀方法在审
| 申请号： | 201710904796.7 | 申请日： | 2017-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN107435130A | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 刘耀阳;徐健 | 申请（专利权）人： | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司11444 | 代理人： | 王刚,龚敏 |
| 地址： | 201201 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及掩膜装置、蒸镀设备以及蒸镀方法。该掩膜装置包括框架，所述框架包括外框架以及内框架，所述内框架设置于所述外框架的内部；其中，所述外框架与所述内框架为一体成型结构。这样设置后，内框架和外框架无需在各自加工完成后进行连接，而是两者在同一块材料上通过机械加工的方式加工而成，或者，两者采用浇铸或注塑的方式一次加工成型，因此，框架的结构稳定性得到提升，其中，内框架作为支撑掩膜，其在自身重力及掩膜板的重力共同作用下引起的下垂现象可以得到缓解，进而掩膜板上出现褶皱的情况会得到控制和改善。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜装置，其特征在于，包括框架，所述框架包括：外框架；以及内框架，所述内框架设置于所述外框架的内部；其中，所述外框架与所述内框架为一体成型结构。
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