[发明专利]活塞式稳压泵在审

专利信息
申请号: 201710906936.4 申请日: 2017-09-29
公开(公告)号: CN107725299A 公开(公告)日: 2018-02-23
发明(设计)人: 李春元;潘建伟;李顺义 申请(专利权)人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号: F04B1/02 分类号: F04B1/02;F04B51/00;F04B53/14
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司31211 代理人: 戴广志
地址: 201203 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种活塞式稳压泵,包含一壳体,壳体内有两个活塞及两个风囊,呈水平对称分布;活塞连接风囊并做往复运动,两活塞中间为药液腔室,活塞往复运动以推动两活塞前端的药液;在药液腔室中具有药液的进口及出口,在药液的出口处还安装有膜片减震器;在壳体上部还安装有CDA进气口;在两个风囊内还分别各装有一个压力传感器,所述压力传感器均与PLC连接并通讯。本发明所述的活塞式稳压泵,通过膜片减震器稳定出口管路脉冲,将出口管路的压力稳定在标准范围内,同时通过两个压力传感器来检测泄露,当泄露发生时能自动停止稳压泵的工作。
搜索关键词: 活塞 稳压
【主权项】:
一种活塞式稳压泵,其特征在于:包含:一壳体,壳体内有两个活塞及两个风囊,呈水平对称分布;活塞连接风囊并做往复运动,两活塞中间为药液腔室,活塞往复运动以推动两活塞前端的药液;在药液腔室中具有药液的进口及出口,在壳体的出口上方处还安装有膜片减震器;在壳体上部还安装有CDA进气口;在两个风囊内还分别各装有一个压力传感器,所述压力传感器均与PLC连接并通讯。
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