[发明专利]具有耐磨氧化铝镀膜层的钢化玻璃的制备方法在审
| 申请号： | 201710909096.7 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107793041A | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 周光惠;夏永光;彭军 | 申请（专利权）人： | 广东星弛光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/34 | 分类号： | C03C17/34 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司44215 | 代理人： | 刘克宽 |
| 地址： | 523330 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及钢化玻璃镀膜技术领域，具体涉及具有耐磨氧化铝镀膜层的钢化玻璃的制备方法，包括步骤a)将钢化玻璃衬底依次采用有机溶剂、去离子水清洗，然后烘干；b)利用MOCVD技术，在钢化玻璃衬底上生长具有多晶结构的氧化镁薄膜层；c)利用ALD技术，在氧化镁薄膜层上外延生长形成氧化铝薄膜层；d)在氧化铝薄膜层的表面均匀涂覆二氧化钛溶胶，然后固化后形成低折射率的二氧化钛增透光镀膜层。与现有技术相比，本发明所形成的氧化镁薄膜和氧化铝薄膜均具有高致密性，可增强钢化玻璃表面的硬度，提高耐刮划、耐磨特性，而且薄膜的均匀性好、厚度可精确控制；最上层的低折射率的二氧化钛增透光镀膜层具有低折射率，大大提高钢化玻璃的透光率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 耐磨 氧化铝 镀膜 钢化玻璃 制备 方法 | ||
【主权项】：
具有耐磨氧化铝镀膜层的钢化玻璃的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：a)将钢化玻璃衬底依次采用有机溶剂、去离子水清洗，然后烘干；b)利用MOCVD技术，以纯度为99.995％以上的二茂镁为镁源，高纯氧或者去离子水为氧源，在一定反应温度下，在钢化玻璃衬底上生长具有多晶结构的氧化镁薄膜层；c)利用ALD技术，以纯度为99.995％以上的三甲基铝为铝源，以氮气或氩气为载气，在一定反应温度下，在所述氧化镁薄膜层上外延生长形成氧化铝薄膜层；d)在所述氧化铝薄膜层的表面均匀涂覆二氧化钛溶胶，然后固化后形成低折射率的二氧化钛增透光镀膜层。
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