[发明专利]热处理装置以及利用该热处理装置的膜制造方法有效
| 申请号： | 201710919650.X | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN108987299B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 岸本克史 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H10K71/40 | 分类号： | H10K71/40;H10K71/13;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 李盛泉;孙昌浩 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种热处理装置以及利用该热处理装置的膜制造方法。根据本发明的一实施例的热处理装置包括：腔室；第一加热板，配置于所述腔室内；第二加热板，配置于所述腔室内，且配置于所述第一加热板的一面上，具有多个狭缝；以及气体喷射单元，构成为向所述第一加热板的所述一侧面喷射气体，其中，在所述第二加热板中央部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积大于在所述第二加热板边缘部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积。 | ||
| 搜索关键词： | 热处理 装置 以及 利用 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种热处理装置，包括：腔室；第一加热板，配置于所述腔室内；第二加热板，配置于所述腔室内，且配置于所述第一加热板的一面上，具有多个狭缝；以及气体喷射单元，构成为向所述第一加热板的所述一面侧喷射气体，在所述第二加热板的中央部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积大于在所述第二加热板的边缘部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积。
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