[发明专利]张网设备有效
申请号: | 201710929886.1 | 申请日: | 2017-10-09 |
公开(公告)号: | CN107732012B | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 姜亮;李金川 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/56;C23C16/04 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种张网设备,用以制备蒸镀用金属掩膜板;包括:张紧机构,至少包括相对设置的第一夹具和第二夹具,第一夹具固定于金属掩膜板的第一端部,第二夹具固定于金属掩膜板相对另一端的第二端部;水平板,可升降地设置于金属掩膜板上方;测量机构,设置于张网设备的工作区域内,用以对金属掩膜板上的图案进行位置信息采集;以及,磁吸机构,可升降地设置于水平板上方,用以吸附金属掩膜板,使得金属掩膜板产生形变;有益效果为:本发明提供的张网设备,在制作金属掩膜板时,模拟金属掩膜板在使用中的形变,通过检测形变后的金属掩膜板表面的金属图案位置信息,对金属掩膜板进行调整,进而得到高精度的金属掩膜板。 | ||
搜索关键词: | 设备 | ||
【主权项】:
1.一种张网设备,用以制备蒸镀用金属掩膜板;其特征在于,所述张网设备包括:张紧机构,至少包括相对设置的第一夹具和第二夹具,所述第一夹具固定于所述金属掩膜板的第一端部,所述第二夹具固定于所述金属掩膜板相对另一端的第二端部;水平板,可升降地设置于所述金属掩膜板上方;测量机构,设置于所述张网设备的工作区域内,所述测量机构用以在所述工作区域内作三维移动,以对所述金属掩膜板上的图案进行位置信息采集;以及,磁吸机构,可升降地设置于所述水平板上方,用以吸附所述金属掩膜板,使得所述金属掩膜板产生形变。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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