[发明专利]旋转锗片/硅片碱腐蚀工艺及其专用设备在审
| 申请号： | 201710964580.X | 申请日： | 2017-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN107955972A | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 王卿伟;房现阁;柯尊斌 | 申请（专利权）人： | 中锗科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 211299 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了旋转锗片/硅片碱腐蚀工艺及其专用设备，设备中设有横梁，所述的横梁下方设有搅拌机构所述的横梁下方垂直设有转轴和反应槽，所述的转轴游离端连接转头；所述的转头为柱状，沿着其轴向延伸方向依次设有若干连接孔，所述的连接孔中可拆卸设有支撑杆，支撑杆为L型，游离端向下伸入反应槽内，并且通过连接柱连接承载器；升降机构所述的横梁下方垂直设置升降杆，所述的升降杆下方连接升降立柱，立柱底部设有用于支承的基底。本发明使得反应碱腐蚀体系始终处于均匀状态，旋转木马结构突破了腐蚀对象的尺寸、形状的限制，且合理的空间设计保证产量最大化。通过调整碱腐蚀的原始工艺，使碱腐蚀系统具备大量生产任意形状、尺寸锗片/硅片的能力，以及避免人工操作带来的腐蚀不均匀问题，从而大大提高了锗片/硅片表面质量合格率和加工流程的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 硅片 腐蚀 工艺 及其 专用设备 | ||
【主权项】：
一种旋转锗片/硅片碱腐蚀专用设备，设有横梁(5)，其特征在于：所述的横梁(5)下方设有：搅拌机构：所述的横梁(5)下方垂直设有转轴(6)和反应槽(12)，所述的转轴(6)游离端连接转头(7)；所述的转头(7)为柱状，沿着其轴向延伸方向依次设有若干连接孔(8)，所述的连接孔(8)可拆卸设有支撑杆(9)，支撑杆(9)为L型，游离端向下伸入反应槽(12)内，并且通过连接柱(10)连接承载器(11)；升降机构：所述的横梁下方(5)垂直设置升降杆(2)，所述的升降杆(2)下方连接升降立柱(1)，立柱(1)底部设有用于支承的基底(13)。
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