[发明专利]照明装置及曝光装置在审
| 申请号： | 201710983508.1 | 申请日： | 2013-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN107741685A | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 根岸武利;福井达雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 陈伟,沈静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供照明装置及曝光装置。照明装置对被处理物照射沿第1方向延伸的狭缝状的照明光，具备多个固体光源部，在将狭缝状的照明光所照射的狭缝状的照明区域分成第1方向长且第2方向短的多个局部照明区域时，该多个固体光源部以对多个局部照明区域各自分别照射照明光的方式配置；和光束合成部，其沿着狭缝状的照明区域配置，将第1方向设为长度方向且截面为三角形的2个棱镜的包含长度方向的斜面相互接合，以斜面上的沿着第1方向的部分中的、与多个局部照明区域的第奇数个和第偶数个中的某一方对应的部分相对于照明光成为通过部、且与另一方对应的部分相对于照明光成为反射部的方式，形成有反射膜。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 装置 曝光 | ||
【主权项】：
一种照明装置，对被处理物照射沿第1方向延伸的狭缝状的照明光，其特征在于，具备：多个固体光源部，在将所述狭缝状的照明光所照射的狭缝状的照明区域分成所述第1方向长且所述第2方向短的多个局部照明区域时，该多个固体光源部以对所述多个局部照明区域各自分别照射所述照明光的方式配置；和光束合成部，其沿着所述狭缝状的照明区域配置，将所述第1方向设为长度方向且截面为三角形的2个棱镜的包含长度方向的斜面相互接合，以所述斜面上的沿着所述第1方向的部分中的、与所述多个局部照明区域的第奇数个和第偶数个中的某一方对应的部分相对于所述照明光成为通过部、且与另一方对应的部分相对于所述照明光成为反射部的方式，形成有反射膜。
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