[发明专利]一种晶圆传输方法及装置

摘要

本发明提供了一种晶圆传输方法及装置，其中晶圆传输方法包括至少两个晶圆拾取装置、沿多个晶圆清洗槽设置的移动轨道；至少两个所述晶圆拾取装置同步沿移动轨道移动，且交替工作用于拾取和输送晶圆。与现有技术相比，本发明结构简单，使用方便，只需要设置两个以上的晶圆拾取装置就可以完成晶圆在不同清洗槽间的拾取和输送问题，并且最大程度地降低了晶圆在不同清洗槽清洗工序间的干涉问题。

主权项

1.一种晶圆传输方法，其特征在于，包括/n至少两个晶圆拾取装置、沿多个晶圆清洗槽设置的移动轨道；/n至少两个所述晶圆拾取装置同步沿移动轨道移动，且交替工作用于拾取和输送晶圆；/n所述晶圆拾取装置数量为m个，所述清洗槽的数量为n个；/n其中，m为大于1的自然数，n为大于2的自然数；/nn个所述清洗槽依次沿所述移动轨道顺序布设，用于对晶圆进行清洗；/n晶圆拾取和输送过程包括如下步骤：/nS1：m个所述晶圆拾取装置同步沿所述移动轨道移动，使得第i个晶圆拾取装置移动到第j个清洗槽的清洗工位，拾取第j个清洗槽中的晶圆；/nS2：m个所述晶圆拾取装置同步沿所述移动轨道移动，使得第i+1个晶圆拾取装置移动到第j+1个清洗槽的清洗工位；/n第i+1个晶圆拾取装置拾取第j+1个所述清洗槽中的晶圆；/nS3：m个所述晶圆拾取装置同步沿所述移动轨道移动，使得第i个晶圆拾取装置移动到第j+1个清洗槽的清洗工位；将第j个清洗槽中取出的晶圆放入第j+1个所述清洗槽中进行清洗处理；/n其中，1≤i≤m-1；1≤j≤n-1，m个所述晶圆拾取装置交替循环作业拾取，直至晶圆通过全部清洗工序；/n所述晶圆拾取装置跳跃式作业，即每个所述晶圆拾取装置相邻两次拾取作业间隔m-1个清洗槽；/n第i个晶圆拾取装置负责将第(i+xm)个所述清洗槽中的晶圆拾取、输送并放置到第(i+xm)+1个所述清洗槽中；/n其中，i为自然数，且1≤i≤m；/nx为所述晶圆拾取装置的拾取循环次数，x为非负整数，且(i+xm)+1≤n。/n