[发明专利]集成电路封装、形成集成电路封装的方法及内连结构有效

专利信息
申请号: 201710992519.6 申请日: 2017-10-23
公开(公告)号: CN108155166B 公开(公告)日: 2022-11-11
发明(设计)人: 陈洁;余振华;叶德强;陈宪伟;陈英儒 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L23/485 分类号: H01L23/485;H01L21/60
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 顾伯兴
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 本揭露实施例涉及一种集成电路封装、一种形成集成电路封装的方法及一种内连结构。本发明实施例公开一种具有提高的性能及可靠性的集成电路封装。所述集成电路封装包括集成电路管芯及布线结构。所述集成电路管芯包括具有周边边缘的导通孔。所述布线结构包括耦合到所述导通孔的导电结构。所述导电结构可包括顶盖区、布线区以及中间区。所述顶盖区可与所述导通孔的区域重叠。所述布线区可具有第一宽度,且所述中间区可沿所述导通孔的所述周边边缘具有第二宽度,其中所述第二宽度可大于所述第一宽度。所述中间区可被配置成将所述顶盖区连接到所述布线区。
搜索关键词: 集成电路 封装 形成 方法 结构
【主权项】:
一种集成电路封装,其特征在于,包括:集成电路管芯,具有导通孔,其中所述导通孔具有周边边缘;以及布线结构,具有导电结构,所述导电结构耦合到所述导通孔且包括:顶盖区,与所述导通孔的区域重叠;布线区,具有第一宽度;以及中间区,沿所述导通孔的所述周边边缘具有第二宽度,且被配置成将所述顶盖区耦合到所述布线区,所述第二宽度大于所述第一宽度。
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