[发明专利]天线、用于产生等离子体的电路，以及等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201710993086.6 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN107979909B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 李东协;成德镛;禹济宪;金俸奭;李柱昊;全允珖;赵贞贤 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邵亚丽 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明构思的实施例提供天线、等离子体产生电路、等离子体处理装置以及用于使用其制造半导体器件的方法。电路包括产生射频功率的射频功率源、接收射频功率以产生等离子体并具有第一互感的天线、以及将天线分别连接到射频功率源的电感器。电感器具有减小和/或消除第一互感的第二互感。 | ||
| 搜索关键词： | 天线 用于 产生 等离子体 电路 以及 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体产生电路，包括：第一射频功率源和第二射频功率源，被配置为产生第一射频功率和第二射频功率；第一天线和第二天线，被配置为接收所述第一射频功率和第二射频功率以产生等离子体，所述第一天线和第二天线具有第一互感；以及第一电感器和第二电感器，其将所述第一天线和第二天线分别电连接到所述第一射频功率源和第二射频功率源，所述第一电感器和第二电感器具有第二互感以消除所述第一互感。
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