[发明专利]XPS进样装置有效
| 申请号： | 201710993110.6 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN107860783B | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 赵志娟;袁震;章小余 | 申请（专利权）人： | 中国科学院化学研究所 |
| 主分类号： | G01N23/2273 | 分类号： | G01N23/2273;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 李健;王亚男 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及XPS检测领域，公开了一种XPS进样装置，所述XPS进样装置(1)包括：用于承载待测样品的样品台(12)；开设有供所述样品台进入的进口(100)、供所述样品台离开的出口(101)和与抽真空装置相连通的抽气口(102)的密封腔室(10)；以及安装于所述密封腔室且与所述样品台相连接的传送机构(11)，所述传送机构能够带动所述样品台在所述密封腔室内移动并将所述样品台送出所述出口，所述XPS进样装置还包括安装于所述密封腔室的用于冷冻位于所述密封腔室内的所述待测样品的冷冻机构(13)。该XPS进样装置实现了对非常规物质进行较为可靠和准确的XPS检测。 | ||
| 搜索关键词： | xps 装置 | ||
【主权项】：
1.一种XPS进样装置，其特征在于，所述XPS进样装置(1)包括：用于承载待测样品的样品台(12)；开设有供所述样品台(12)进入的进口(100)、供所述样品台(12)离开的出口(101)和与抽真空装置相连通的抽气口(102)的密封腔室(10)；以及安装于所述密封腔室(10)且与所述样品台(12)相连接的传送机构(11)，所述传送机构(11)能够带动所述样品台(12)在所述密封腔室(10)内移动并能够将所述样品台(12)送出所述出口(101)，所述XPS进样装置还包括安装于所述密封腔室(10)的用于冷冻位于所述密封腔室(10)内的所述待测样品的冷冻机构(13)；所述冷冻机构(13)包括插设于所述密封腔室(10)的壁的用于容纳冷却介质的密封容器(130)以及连接所述密封容器(130)和所述密封腔室(10)的内部空间的导热件(131)，所述传送机构(11)能够带动所述样品台(12)移动使得所述导热件(131)与所述样品台(12)接触；所述密封容器(130)包括位于所述密封腔室(10)外且开设有将位于所述密封容器(130)的外部的冷却介质导入的注入口(1303)的第一密封壳(1300)以及与所述第一密封壳(1300)相连通的第一传送管(1305)，其中，所述第一传送管(1305)插设于所述密封腔室(10)的壁，所述导热件(131)连接于所述第一传送管(1305)。
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