[发明专利]一种坩埚在审
申请号: | 201711019265.6 | 申请日: | 2017-10-27 |
公开(公告)号: | CN107541703A | 公开(公告)日: | 2018-01-05 |
发明(设计)人: | 何传友;马群;崔志明;杨婷雁;雷瑶 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人: | 刘悦晗,陈源 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种坩埚,通过在坩埚本体内沿其宽度方向设置多个第一挡板,各第一挡板之间间隔设置,从而将坩埚本体的内部空间划分为多个区域,第一挡板固定在坩埚本体相对设置的第一侧壁和第二侧壁上,第一挡板上设置多个第一镂空部或多个凹槽,这样,当坩埚沿其长度方向从一个腔室移动到另一个腔室时,坩埚本体内的蒸镀材料可以通过第一挡板上的各个第一镂空部或各个第一凹槽在坩埚本体内的各个区域之间流动,从而抑制蒸镀材料晃动,提高蒸镀材料的稳定性,保证蒸镀速率维持平稳状态,可以提高蒸镀膜层的均一性和OLED基板色度良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 坩埚 | ||
【主权项】:
一种坩埚,包括坩埚本体和多个第一挡板,所述第一挡板沿所述坩埚本体的宽度方向设置,并固定在所述坩埚本体相对设置的第一侧壁和第二侧壁上,各所述第一挡板之间具有第一间隔距离,其特征在于,所述第一挡板上设置有多个第一镂空部或多个第一凹槽。
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