[发明专利]一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置及方法有效
| 申请号： | 201711021940.9 | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN107597687B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 徐国军;毛地雅;刘俊林;陈思 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B9/032;F26B21/00 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置及方法，其中，水刀清洗装置包括：压缩干燥空气管路，连接在为水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上，用于供应压缩干燥空气，压缩干燥空气与水刀供给管路中的去离子水形成二流体，对水刀供给管路及水刀进行清洗；设置在压缩干燥空气管路上的自动阀，用于在湿法剥离机进入空闲状态时自动开启以使压缩干燥空气输送至水刀供给管路中，并在湿法剥离机进入工作状态时自动关闭以断开压缩干燥空气的供应。本发明使得循环水过滤器至刀口的整段水刀供给管路连接处、缝隙处皆可得到充分清洗，进一步降低了水刀分叉的可能性，可基本避免因此带来的工艺异常，具有较好的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 蚀刻 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置，其特征在于，包括：压缩干燥空气管路，连接在为水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上，用于供应压缩干燥空气，所述压缩干燥空气与所述水刀供给管路中的去离子水形成二流体，对所述水刀供给管路及水刀进行清洗；设置在所述压缩干燥空气管路上的自动阀，用于在湿法剥离机进入空闲状态时自动开启以使所述压缩干燥空气输送至所述水刀供给管路中，并在湿法剥离机进入工作状态时自动关闭以断开所述压缩干燥空气的供应。
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