[发明专利]杂质除去装置和具有该杂质除去装置的循环气体回收精制系统

摘要

本发明的课题是提供一种杂质除去装置，其在将由准分子激光装置排出的含有第1稀有气体和氖气的排气送向后段的工序时，能够基于排气中的杂质浓度来控制除去处理的有无和是否向外界放气。为此，提高了一种杂质除去装置，其具有：杂质浓度检测部，其测定排气流经的排出管线的排气中的杂质浓度；转变部，其基于杂质浓度检测部的测定结果，将排气中的杂质通过等离子体分解而变为别的物质；以及除去部，其使通过转变部而变成的物质与规定的反应剂反应，将其从排气中除去。杂质除去装置还可以具有基于杂质浓度检测部的测定结果、将排气向外界释放的释放管线。

主权项

1.一种杂质除去装置，用于从准分子激光装置排出的、至少含有氖气和第1稀有气体的排气中除去杂质，具有：杂质浓度检测部，其测定所述排气流经的排出管线的所述排气中的所述杂质的浓度，转变部，其基于所述杂质浓度检测部的测定结果，将所述排气中的所述杂质通过等离子体分解而变为别的物质，除去部，其使通过所述转变部而变成的物质与规定的反应剂反应，从所述排气中除去，释放管线和/或旁路管线，所述释放管线基于所述杂质浓度检测部的测定结果，将所述排气向外界释放，所述旁路管线基于所述杂质浓度检测部的测定结果，将所述排气送向与杂质除去装置的后段连接着的循环气体回收精制系统，以及处理选择部，其基于所述杂质浓度检测部的测定结果，从向外界放气的第1处理、实施除去处理的第2处理、以及将所述排气送向与杂质除去装置的后段连接着的循环气体回收精制系统的第3处理中选择任一种处理，在所述处理选择部选择所述第1处理时，通过所述释放管线向外界释放所述排气，在所述处理选择部选择所述第2处理时，通过设置在除去处理管线上的所述转变部和所述除去部来从所述排气中除去杂质，所述除去处理管线用于将所述排气送向与杂质除去装置的后段连接着的循环气体回收精制系统，在所述处理选择部选择所述第3处理时，通过所述旁路管线将所述排气送向与杂质除去装置的后段连接着的循环气体回收精制系统。