[发明专利]蚀刻组合物有效
| 申请号： | 201711049601.1 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN108018557B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 朴相承;金益儁;金世训 | 申请（专利权）人： | 易案爱富科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;金世煜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供蚀刻组合物以及利用其的蚀刻方法，本发明的蚀刻组合物包含过氧化氢、助氧化剂、防腐蚀剂和双氧水稳定剂，上述助氧化剂为选自银、铁、铜、镍、锰和铈中的一种以上的离子或者包含这些离子的有机或无机化合物，上述双氧水稳定剂为脂肪族环酮化合物、内酯化合物或它们的混合物。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种蚀刻组合物，其中，包含：过氧化氢；助氧化剂，其为选自银、铁、铜、镍、锰和铈中的一种以上的离子或者包含这些离子的有机或无机化合物；防腐蚀剂；以及双氧水稳定剂，其为脂肪族环酮化合物、内酯化合物或它们的混合物。
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