[发明专利]一种类单晶籽晶的铺设装置及设备

摘要

本发明实施例公开了一种类单晶籽晶的铺设装置及系统，包括控制器、升降支架、真空吸盘、气泵及输气管道；控制器的控制端分别与气泵的驱动端和升降支架的驱动端连接，气泵的输出端与输气管道的输入端连接，输气管道的输出端与真空吸盘的通气口连接；真空吸盘的通气口端与升降支架的移动端连接；真空吸盘的底部具有多个吸盘区域，每个吸盘区域对应一个籽晶，每个吸盘区域至少设有一个吸盘孔；控制器用于控制升降支架带动真空吸盘进行上升或下降运动，以便真空吸盘将预先铺设的籽晶阵列移送至坩埚底部，籽晶阵列为多个籽晶无缝铺设而成。本发明实施例在铺设籽晶的过程中降低了籽晶边角碰撞几率，铺设质量和效率较高，无缝化效果更佳。

主权项

一种类单晶籽晶的铺设装置，其特征在于，包括控制器、升降支架、真空吸盘、气泵及输气管道；所述控制器的控制端分别与所述气泵的驱动端和所述升降支架的驱动端连接，所述气泵的输出端与所述输气管道的输入端连接，所述输气管道的输出端与所述真空吸盘的通气口连接；所述真空吸盘的通气口端与所述升降支架的移动端连接；所述真空吸盘的底部具有多个吸盘区域，每个所述吸盘区域对应一个籽晶，每个所述吸盘区域至少设有一个吸盘孔；所述控制器用于控制所述升降支架带动所述真空吸盘进行上升或下降运动，以便所述真空吸盘将预先铺设的籽晶阵列移送至坩埚底部，所述籽晶阵列为多个籽晶无缝铺设而成。