[发明专利]有机EL显示面板的制造方法及墨干燥装置有效
申请号: | 201711053219.8 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN108011050B | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 福田敏生;近藤义明;新谷庸一;前田宪辉 | 申请(专利权)人: | 株式会社日本有机雷特显示器 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 张永明 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供有机EL显示面板的制造方法及墨干燥装置,通过实现发光层(123)的膜厚的均匀化来改善亮度不均匀。有机发光面板的制造方法,包括:在沿行方向相邻的各个列堤(522Y)间的间隙(522z),以遍及列堤(22Y)的列方向端部间且在列方向连续的方式涂敷包含有机发光材料的墨的工序;在将以均匀的密度开设有多个贯通孔(400a)的整流板(400)与多个列堤分开预定距离的状态下,使涂敷墨的基板(100x)和整流板(400)相对而配置,以使多个贯通孔位于基板(100x)上的至少与多个列堤(22Y)相对的范围(10a)的工序;从包含基板(100x)以及整流板(400)的空气中排出气体的工序;以及在空气的压力为预定压力以下的状态下,通过加热基板(100x)来干燥墨的工序。 | ||
搜索关键词: | 有机 el 显示 面板 制造 方法 干燥 装置 | ||
【主权项】:
1.一种有机EL显示面板的制造方法,在所述有机EL显示面板中,多个像素呈行列状配置于基板上,所述有机EL显示面板的制造方法包括以下工序:准备所述基板;在所述基板上呈行列状形成多个像素电极层;在至少位于所述像素电极层的行方向外缘间的所述基板上方,以在列方向上延伸的方式在行方向上排列设置多个列堤;在沿行方向相邻的各个所述列堤间的间隙,以遍及所述列堤的列方向端部间且在列方向连续的方式涂敷包含有机发光材料的墨;在将以均匀的密度开设有多个贯通孔的整流板与所述多个列堤分开预定距离的状态下,使涂敷所述墨的所述基板与所述整流板相对而配置,以使所述多个贯通孔位于所述基板上的至少与所述多个列堤相对的范围内;从包含所述基板和所述整流板的空气中排出气体;通过加热所述基板,使所述墨干燥;以及在去除了所述整流板的状态下,在所述有机功能层上方形成相对电极层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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