[发明专利]功率晶体管表面钝化装置

摘要

本申请涉及晶体管加工领域，具体公开了一种功率晶体管表面钝化装置，其包括反应管、套设于反应管外的外管和设于反应管和外管之间的中管；反应管和外管之间为除尘腔；反应管和中管之间为除尘通道，除尘通道中部的横截面收缩，除尘通道的上端与除尘腔连通；中管的下端封口，反应管的上下两端均开口，中管与反应管转动连接，反应管的下端与除尘通道的下端连通，中管下端的内壁上固定有导流扇叶，导流扇叶位于反应管下端面上方，反应管上设有与除尘通道中部连通的除尘孔，反应管内设有与反应管固定并位于除尘孔下方的托盘；反应管的顶部设有盖体，盖体上设有与NH₃气源连通的进气孔，反应管外周缠绕有感应线圈。该装置可在反应管内对台面管进行除尘。

主权项

1.功率晶体管表面钝化装置，其特征在于：包括反应管、套设于反应管外的外管、设于反应管和外管之间的中管和驱动中管转动的电机；所述反应管和外管之间为除尘腔，除尘腔的上端封口；所述反应管和中管之间为除尘通道，除尘通道中部的横截面面积小于除尘通道两端及反应管内腔的横截面面积，除尘通道的上端与除尘腔连通；中管的下端封口，反应管的上下两端均开口，且中管与反应管转动连接，反应管的下端与除尘通道的下端连通，中管下端的内壁上固定有导流扇叶，导流扇叶位于反应管下端面上方，反应管的侧壁上设有与除尘通道中部连通且直径为3‑5mm除尘孔，反应管内设有与反应管固定并位于除尘孔下方的托盘；所述反应管的顶部设有盖体，盖体上设有与NH₃气源连通的进气孔，反应管外周缠绕有感应线圈。