[发明专利]掩模板、蒸镀掩模板组件、蒸镀设备及掩模板的制作方法在审
| 申请号： | 201711062791.0 | 申请日： | 2017-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN107587106A | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 吴建鹏;徐鹏;杨忠英;罗昶;李雪萍;黄立为;于名印;冯巧;佘建民;胡红伟;曹英;宋德雄;辛燕霞;周才龙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 许静,刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩模板、蒸镀掩模板组件、蒸镀设备及掩模板的制作方法，所述掩模板包括掩模板主体，所述掩模板主体上设有遮挡部和多个开口部；所述掩模板主体包括相背的两个面，其中在所述相背的两个面中至少一个面上的预定区域处设有磁性层。本发明能够改善蒸镀时由于掩模板不平坦而导致的混色、均一性差等不良，提升产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 蒸镀掩 组件 设备 制作方法 | ||
【主权项】：
一种掩模板，包括掩模板主体，所述掩模板主体上设有遮挡部和多个开口部；其特征在于，所述掩模板主体包括相背的两个面，其中在所述相背的两个面中至少一个面上的预定区域处设有磁性层。
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