[发明专利]覆盖量测方法及其系统有效
| 申请号： | 201711066881.7 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN108226760B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 吴锴;谢鸿志;陈开雄;柯志明;陈彦良 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/311 | 分类号： | G01R31/311 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;章侃铱 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种覆盖量测方法，包括：利用多彩光束照亮覆盖目标；搜集与由多彩光束通过覆盖目标而产生的衍射光谱有关的强度信息，其中衍射光谱将多彩光束分离为多个衍射光束，衍射光束的每一者分别对应至多彩光束的一波长；以及根据与衍射光谱有关的强度信息产生覆盖信息，覆盖信息包括因不对称性而产生的覆盖误差。 | ||
| 搜索关键词： | 覆盖 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
1.一种覆盖量测方法，包括：利用一多彩光束照亮一覆盖目标；搜集与由上述多彩光束通过上述覆盖目标而产生的一衍射光谱有关的强度信息，其中上述衍射光谱将上述多彩光束分离为多个衍射光束，上述衍射光束的每一者分别对应至上述多彩光束的一波长；以及自与上述衍射光谱有关的上述强度信息产生一覆盖信息，其中上述覆盖信息包括因不对称性而产生的覆盖误差。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711066881.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
