[发明专利]一种太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开了太阳能电池的制备方法，包括：清洗硅片；将清洗后的硅片在恒温恒湿条件下，放置预设时间，使硅片表面形成氧化层；将放置后的硅片进行镀膜。本发明提供的太阳能电池的制备方法，把清洗后的硅片置于恒温恒湿条件下预设时间，使得硅片表面会自然氧化，即硅片表面的硅原子与空气中的氧原子结合，发生化学反应，形成氧化层，再取出硅片进行正常的镀膜流程；该氧化层既提高了硅片表面钝化效果，又不影响电导率，有利于后续镀膜制备高质量的本征层，从而利于提升硅片的少子寿命。

主权项

1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：/n清洗硅片；/n将清洗后的硅片进行硅片表面氧化；/n将氧化后的硅片进行镀膜；/n其中，所述将清洗后的硅片进行硅片表面氧化，具体为：将清洗后的硅片置于湿度为30％～60％，温度为15～40℃的恒温恒湿箱内，放置30分钟到5小时，使硅片表面形成氧化层；/n其中，所述将氧化后的硅片进行镀膜，具体为：在硅片上形成本征非晶硅层、P型非晶硅层、N型非晶硅层，然后进行TCO溅射。/n