[发明专利]集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法在审

专利信息
申请号: 201711085351.7 申请日: 2017-11-07
公开(公告)号: CN110019459A 公开(公告)日: 2019-07-16
发明(设计)人: 姬小兵;马秀丽;魏剑嵬;杨祖业;张丽丽;王晶 申请(专利权)人: 沈阳中科博微科技股份有限公司
主分类号: G06F16/25 分类号: G06F16/25;G06Q50/04;H04L29/08
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 许宗富
地址: 110179 辽宁省沈*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明公开了集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法,包括数据采集、数据存储以及数据分发三部分。数据采集指通过SEMI国际标准的通信协议与集成电路装备制造厂的设备进行联网通讯,获取并解析设备数据。数据存储是将获取到的设备数据缓存在服务器端,转换为装备描述文件后上传至云平台。数据分发即接入云平台,获取装备描述文件解析后根据订阅方式进行数据分发。本发明基于云计算技术提供高效的实时数据服务,解决了在集成电路装备企业生产过程信息量大,尤其是极大规模的集成电路装备制造企业设备基数大、实时数据量庞大、传统的数据采集及存储方法存在实时数据采集难,实时性不高、数据存储与分发慢等问题,解决海量数据的采集与存储问题。
搜索关键词: 集成电路装备 数据采集 数据存储 数据分发 云计算 集成电路生产线 数据实时处理 描述文件 云平台 企业生产过程 实时数据采集 实时数据服务 存储问题 服务器端 海量数据 解析设备 联网通讯 企业设备 设备数据 实时数据 通信协议 传统的 实时性 上传 信息量 解析 分发 存储 订阅 基数 采集 转换 制造
【主权项】:
1.集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法,其特征在于,包括:配置数据库中的配置信息,与集成电路生产设备进行通讯,获取采集事件并解析成设备数据上传至服务器端;在服务器端缓存获取的设备数据,在工艺完成时将设备数据转换压缩为装备描述文件,上传至云平台中进行保存;当有客户端接入云平台时,从云平台获取装备描述文件并解压缩还原成设备数据,分发给客户端。
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