[发明专利]一种金属化薄膜制作方法在审
| 申请号： | 201711090626.6 | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN107731528A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 李俊;李武 | 申请（专利权）人： | 安徽赛福电子有限公司 |
| 主分类号： | H01G4/33 | 分类号： | H01G4/33 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 244000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金属化薄膜制作方法，将绝缘基膜送入真空镀膜机中采用真空蒸镀方式在绝缘基膜的工作面形成金属镀层；在真空蒸镀作业时，镀膜室的表压小于或等于‑2×10‑5mbar。镀膜室中的真空泵由伺服电机驱动，伺服电机上电连接有矢量变频控制器，在伺服电机上还设有旋转编码器，旋转编码器的输出信号输入至矢量变频控制器；所述真空泵的排气管上设有真空传感器，真空传感器的输出信号也输入至矢量变频控制器。本发明通过对真空泵进行矢量变频控制，使得镀膜室内部的表压在3分钟内降低到‑2×10‑5mbar，真空泵运行稳定，运行效率高，镀膜室内部的气压稳定，有利于保证金属镀层与绝缘基膜之间的结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属化 薄膜 制作方法 | ||
【主权项】：
一种金属化薄膜制作方法，其特征在于：将绝缘基膜送入真空镀膜机中，在真空镀膜机中采用真空蒸镀方式在绝缘基膜的工作面形成金属镀层；其中，在真空蒸镀作业时，镀膜室的表压小于或等于‑2×10‑5mbar。
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