[发明专利]一种匀胶机排风装置有效
| 申请号： | 201711094407.5 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN109765759B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 张超;程虎;郭生华;曲征辉 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 汪海 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及匀胶机领域，具体地说是一种匀胶机排风装置，包括进风盒、阀门盒、连接筒、气缸、活塞和排风法兰，其中所述进风盒、阀门盒、排风法兰内部依次相通形成排风通道，连接筒设置于所述阀门盒任一侧，且所述活塞通过所述气缸驱动在所述阀门盒和连接筒内移动，在所述阀门盒与所述进风盒相连一端的开口内壁上设有溶剂槽。本发明通过控制气缸的往复运动带动活塞运动，从而实现自动控制排风开关的目的，另外在阀门盒上部设有溶剂槽，溶剂槽内的溶剂会蒸发保持装置内部的湿润，减少光刻胶在装置内壁凝结，保持稳定的排风量，同时也易于装置的内部维护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 匀胶机排风 装置 | ||
【主权项】：
1.一种匀胶机排风装置，其特征在于：包括进风盒(1)、阀门盒(2)、连接筒(3)、气缸(4)、活塞(6)和排风法兰(5)，其中所述进风盒(1)、阀门盒(2)、排风法兰(5)内部依次相通形成排风通道，连接筒(3)设置于所述阀门盒(2)任一侧，且所述活塞(6)通过所述气缸(4)驱动在所述阀门盒(2)和连接筒(3)内移动，在所述阀门盒(2)与所述进风盒(1)相连一端的开口内壁上设有溶剂槽(7)。
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