[发明专利]正型光敏树脂组合物在审
| 申请号： | 201711098303.1 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN108073042A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 金东明;尹赫敏;吕泰勋;金宣炯 | 申请（专利权）人： | 株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;宋海花 |
| 地址： | 韩国仁*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种正型光敏树脂组合物。更具体地，本发明涉及一种具有优异的灵敏度、分辨率、图案轮廓、曝光后延迟裕度(PED margin)等，尤其是因为具有亲油性的巨大的发色团结构，对蚀刻液渗透的排斥力及耐热性优异，并且使用因含长烷基链的酸结构而容易控制酸扩散速度的光致产酸剂，从而湿法蚀刻粘合力及耐热性、分散度优异的正型光敏树脂组合物。因此，本发明的正型光敏树脂组合物能够用于显示器、半导体、微机电系统(MEMS)、电子纸(E‑paper)等伴有湿法蚀刻工艺的元件，尤其适用于薄膜晶体管液晶显示器(TFT‑LCD)、有机发光二极管(OLED)或有机薄膜晶体管(O‑TFT)等大面积高分辨率显示器。 | ||
| 搜索关键词： | 正型光敏树脂组合物 耐热性 湿法蚀刻 薄膜晶体管液晶显示器 高分辨率显示器 有机薄膜晶体管 有机发光二极管 发色团结构 光致产酸剂 微机电系统 长烷基链 图案轮廓 电子纸 分散度 灵敏度 排斥力 亲油性 蚀刻液 酸结构 酸扩散 粘合力 分辨率 裕度 半导体 显示器 延迟 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种正型光敏树脂组合物，其包含：a)由下述化学式1表示的共聚物；b)光致产酸剂，其熔点是90℃至300℃，酸的烷基的碳原子数是6至20，对丙二醇单甲醚醋酸酯的溶解度是1％至15％；d)有机碱；及e)溶剂，化学式11 是缩醛基、缩酮基，x+y+z＝1，x为0.1-0.9，y为0.0-0.6，z为0.1-0.9。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社东进世美肯，未经株式会社东进世美肯许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711098303.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 正型光敏树脂组合物、利用其制造的光敏树脂层、和包含该光敏树脂层的半导体器件
- 邻硝基苄酯化合物及包含它的正型光敏树脂组合物
- 正型光敏树脂组合物，利用其制备的光敏树脂膜，和包括该光敏树脂膜的半导体器件
- 正型光敏树脂组合物，使用其制备的光敏树脂膜，以及包括该光敏树脂膜的半导体器件
- 正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置
- 正型光敏树脂组合物、使用其制备的光敏树脂膜、以及包含该光敏树脂膜的半导体器件
- 正型感光性树脂组合物、分隔壁和光学元件
- 正型光敏树脂组合物、使用其制备的光敏树脂膜以及显示装置
- 正型光敏树脂组合物、利用其制造的光敏树脂膜以及显示装置
- 正型光敏树脂组合物和由其制备的固化膜
