[发明专利]气体传感器及其制备方法在审
申请号: | 201711107304.8 | 申请日: | 2017-11-10 |
公开(公告)号: | CN107941859A | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
发明(设计)人: | 左国民;高适;张顺平;王学峰;李丹萍;张立功;王宁;周建梅;鲁胜利 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军陆军防化学院 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 北京华进京联知识产权代理有限公司11606 | 代理人: | 赵永辉 |
地址: | 102205 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种气体传感器及其制备方法。所述气体传感器包括基底以及多个气敏元件。所述基底设置有多个间隔设置的镂空部。每个所述气敏元件设置于一个所述镂空部中。多个所述气敏元件与多个所述镂空部一一对应设置,同时切除了所述基底上多余的部分,从而使得所述基底镂空。由于镂空后的所述基底的面积变小,减小了所述气敏元件阵列封装结构的发热面积,进而降低了所述气敏元件阵列封装结构的热功耗。 | ||
搜索关键词: | 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种气体传感器,其特征在于,包括:基底(20),所述基底(20)设置有多个间隔设置的镂空部(30);以及多个气敏元件(40),每个所述气敏元件(40)悬空设置于一个所述镂空部(30)中。
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