[发明专利]基于软聚合物的材料的抛光介质在审
| 申请号： | 201711116404.7 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN108068010A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | S·达斯凯维奇 | 申请（专利权）人： | JH罗得股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/26 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐鑫;项丹 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请涉及基于软聚合物的材料的抛光介质。揭示了包含基于软聚合物的材料的抛光介质，包含该介质的设备和系统，以及形成和使用该介质、设备和系统的方法。一种抛光介质，其包括：基于软聚合物的材料，所述基于软聚合物的材料的拉伸模量约为50kPa至约1.0MPa，以及聚合物材料，所述聚合物材料至少部分分散在所述基于软聚合物的材料中，或者与所述基于软聚合物的材料附着。 | ||
| 搜索关键词： | 软聚合物 抛光介质 聚合物材料 设备和系统 拉伸模量 附着 申请 | ||
【主权项】：
1.一种抛光介质，其包括：基于软聚合物的材料，所述基于软聚合物的材料的拉伸模量约为50kPa至约1.0MPa，以及聚合物材料，所述聚合物材料至少部分分散在所述基于软聚合物的材料中，或者与所述基于软聚合物的材料附着。
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