[发明专利]一种用于恒深度纳米划痕实验的调平方法

摘要

本发明公开了一种用于恒深度纳米划痕实验的调平方法，首先将被测试样镶嵌在第二圆柱形容置洞中，通过研磨、抛光，使得被测试样上表面同试样杯上边缘在同一平面。将试样杯装入第一圆柱形容置洞中，通过螺栓连接台体上的连接孔与盖板上的连接孔，用扭矩螺丝刀顶紧所有通孔中顶丝。卸掉盖板，将台体放入纳米压痕仪的卡台中，通过显微镜观察微尺度正方形待测区域。本发明通过机械调平方法实现，成本低廉、体积小，并同纳米压痕仪的卡台相配合，节省空间便与推广。

主权项

一种用于恒深度纳米划痕实验的调平方法，具体步骤如下：首先将被测试样镶嵌在第二圆柱形容置洞(16)中，通过研磨、抛光，使得被测试样上表面同试样杯(15)上边缘在同一平面；将试样杯(15)装入第一圆柱形容置洞(2)中，通过螺栓连接台体(1)上的连接孔(19，20，21，22)与盖板(17)上的连接孔(23，24，25，26)，用扭矩螺丝刀顶紧所有通孔(3，4，5，6，7，8，11，12，13，14)中顶丝；卸掉盖板(17)，将台体(1)放入纳米压痕仪的卡台中，通过显微镜观察微尺度正方形待测区域；微尺度正方形待测区域边长为100微米至500微米；分别聚焦待测区域水平左右侧中心点A和B，当A高于B时，用螺丝刀顶紧第三通孔(6)的顶丝直到A和B同高，当A低于B时，用螺丝刀顶紧第五通孔(7)的顶丝直到A和B同高；分别聚焦待测区域上下侧中心点C和D，当观察到C高于D时，用普通螺丝刀顶紧第七通孔(11)中顶丝直到C和D同高；当观察到C低于D时，用普通螺丝刀顶紧第八通孔(12)中顶丝直到C和D同高；台体(1)为调平台的主体结构，台体(1)的上部中心处开有第一圆柱形容置洞(2)，台体(1)与第一圆柱形容置洞(2)之间开有第一通孔(3)和第四通孔(6)，第一通孔(3)的径向和第四通孔(6)的径向之间的夹角为90°；与第一通孔(3)对侧的第一圆柱形容置洞(2)上设有通孔第二通孔(4)、第三通孔(5)，与第四通孔(6)对侧的第一圆柱形容置洞(2)上设有第五通孔(7)和第六通孔(8)；台体(1)的下部中心处开有矩形容置洞(10)，矩形容置洞(10)内均布有四个通孔(11，12，13，14)；通孔内均布有螺纹，螺纹与顶丝相配合；试样杯(15)放置在第一圆柱形容置洞(2)内，试样杯(15)与第一圆柱形容置洞(2)等高，试样杯(15)的外直径小于第一圆柱形容置洞(2)的内直径，试样杯(15)的上部中心开有第二圆柱形容置洞(16)；盖板(17)的中心处开有观察窗(18)；台体(1)的四角处开有连接孔(19，20，21，22)，盖板(17)的四角处开有连接孔(23，24，25，26)，台体(1)的连接孔(19，20,21，22)与盖板(17)的连接孔(23，24，25，26)通过螺栓连接。