[发明专利]一种液囊压力罐在审
| 申请号： | 201711144975.1 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN109795817A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 王冬 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D90/48 | 分类号： | B65D90/48;B65D90/54;B65D90/08 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体化学药液供应领域，具体地说是一种液囊压力罐，包括压力罐本体、液囊组件及称重传感器，液囊组件容置于压力罐本体内，包括液囊、吸管、液囊连接盖、进液口及出液口，液囊位于压力罐本体内、与压力罐本体相对独立，顶端通过液囊连接盖与压力罐本体连接，液囊连接盖上分别密封连接有进液口及出液口，进液口的下端连接有插入液囊内的高压气管B，出液口的下端连接有插入液囊内的吸管；压力罐本体上密封连接有进气口，进气口的上端与大气相通，下端连接有插入压力罐本体内的高压气管A。本发明减少了化学药液与空气等气体的接触，降低了化学药液应用过程中气泡的析出及在空气中变质，提高了晶圆工艺质量。 | ||
| 搜索关键词： | 压力罐 液囊 出液口 进液口 连接盖 下端 进气口 吸管 高压气管 化学药液 体内 种液 半导体化学 称重传感器 大气相通 晶圆工艺 密封连接 相对独立 应用过程 析出 上密封 上端 变质 | ||
【主权项】：
1.一种液囊压力罐，其特征在于：包括压力罐本体(1)、液囊组件(6)及称重传感器(8)，其中液囊组件(6)容置于压力罐本体(1)内，包括液囊(11)、吸管(10)、液囊连接盖(12)、进液口(14)及出液口(15)，该液囊(11)位于所述压力罐本体(1)内、与压力罐本体(1)相对独立，顶端通过所述液囊连接盖(12)与压力罐本体(1)连接，所述液囊连接盖(12)上分别密封连接有进液口(14)及出液口(15)，该进液口(14)的下端连接有插入所述液囊(11)内的高压气管B(9)，所述出液口(15)的下端连接有插入液囊(11)内的吸管(10)；所述压力罐本体(1)上密封连接有进气口(4)，该进气口(4)的上端与大气相通，下端连接有插入所述压力罐本体(1)内的高压气管A(2)；化学药液通过所述进液口(14)注入液囊(11)中，该液囊(11)内的化学药液通过设置于所述压力罐本体(1)内底部的称重传感器(8)称重，所述液囊(11)内的化学药液受到由进气口(4)通入的气体压力而由所述出液口(15)压出。
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