[发明专利]霍尔元件以及霍尔元件的制造方法有效
| 申请号： | 201711145588.X | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN108075036B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 赤木刚;高桥徹也 | 申请（专利权）人： | 旭化成微电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L43/06 | 分类号： | H01L43/06;H01L43/04;H01L43/14 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供具有接触部的霍尔元件。本发明提供一种霍尔元件，其中，该霍尔元件包括：基板；磁感应部，其形成于基板上；绝缘膜，其形成于磁感应部上；以及导电部，其形成于绝缘膜上，该导电部自磁感应部的周边区域向磁感应部的中央区域侧延伸，且贯穿绝缘膜，并与磁感应部电连接，在以经过俯视时的磁感应部的中心和导电部与磁感应部接触的部分的剖面进行观察时，导电部的至少一部分延伸到剖面中的绝缘膜的下部。 | ||
| 搜索关键词： | 霍尔 元件 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种霍尔元件，其中，该霍尔元件包括：基板；磁感应部，其形成于所述基板上；绝缘膜，其形成于所述磁感应部上；以及导电部，其形成于所述绝缘膜上，该导电部自所述磁感应部的周边区域向所述磁感应部的中央区域侧延伸，且贯穿所述绝缘膜，并与所述磁感应部电连接，在以经过俯视时的所述磁感应部的中心和所述导电部与所述磁感应部接触的部分的剖面进行观察时，所述导电部的至少一部分延伸到所述剖面中的所述绝缘膜的下部。
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