[发明专利]可调光滤波器及其制造方法以及可调光滤波器组件有效
| 申请号： | 201711160529.X | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109814281B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 张丽;吴邦嘉;李惠萍 | 申请（专利权）人： | 菲尼萨公司 |
| 主分类号： | G02F1/00 | 分类号： | G02F1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 陈炜;杨林森 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种可调光滤波器及其制造方法以及可调光滤波器组件。该方法可以包括将硅晶片减薄到特定厚度。特定厚度可以基于可调光滤波器的通带频谱。该方法还可以包括使用光学涂层来覆盖硅晶片的表面。光学涂层可以对光信号进行滤波并且可以基于通带频谱。该方法可以另外包括在涂覆的硅晶片上沉积多个热调谐部件。多个热调谐部件可以通过调节涂覆的硅晶片的温度来调节可调光滤波器的通带频率范围。通带频率范围可以在通带频谱内。该方法可以包括将涂覆的硅晶片分成多个硅晶片管芯。每个硅晶片管芯可以包括多个热调谐部件并且可以是可调光滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 调光 滤波器 及其 制造 方法 以及 组件 | ||
【主权项】：
1.一种制造可调光滤波器的方法，包括：将硅晶片减薄到特定厚度，其中所述特定厚度基于所述可调光滤波器的通带频谱；使用光学涂层来覆盖所述硅晶片的表面，其中所述光学涂层被配置成对光信号进行滤波并且基于所述通带频谱进行配置；在涂覆的硅晶片上沉积多个热调谐部件，其中所述多个热调谐部件被配置成通过调节涂覆的硅晶片的温度来调节所述可调光滤波器的通带频率范围，其中所述通带频率范围在所述通带频谱内；以及将涂覆的硅晶片分成多个硅晶片管芯，其中每个硅晶片管芯包括多个热调谐部件并且被配置作为所述可调光滤波器。
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