[发明专利]硅片打磨用喷砂机

摘要

本发明一种硅片打磨用喷砂机，包括喷砂箱和分别与喷砂箱连通的压力罐和收尘箱，还包括分别位于喷砂箱下部、上部和后部的进砂机构、喷砂机构和收尘机构，喷砂箱包括喷砂箱箱体，喷砂箱箱体从上往下依次分为管道层、工作层和收集层，进砂机构包括储砂罐，储砂罐上端与收集层下端之间设有电磁阀，喷砂机构包括三通接头和分别位于三通接头出口两端的喷砂头和喷气头，喷气头与三通接头之间设有滤网，收尘机构包括喷砂箱箱体工作层后部的收尘仓、工作层内部后端两侧的导轨组、工作层内部后端一侧的丝杆、导轨组内的挡板和工作层后端底部的调节机构；本发明提供一种具有吹散灰尘的喷气头和可调节收尘机构的硅片打磨用喷砂机。

主权项

一种硅片打磨用喷砂机，包括喷砂箱和分别与喷砂箱连通的压力罐（1）和收尘箱，其特征在于，还包括分别位于喷砂箱下部、上部和后部的进砂机构、喷砂机构和收尘机构；所述喷砂箱包括喷砂箱箱体（2），所述喷砂箱箱体（2）从上往下依次分为管道层（201）、工作层（202）和收集层（203），所述管道层（201）内部和顶部分别设有喷砂机构和顶板（3），所述工作层（202）一侧设有铰接的门板（4），工作层（202）前端上部和下部分别设有透视窗（5）和操作手套（6），工作层（202）后端设有开口，工作层（202）后部设有收尘机构，所述收集层（203）呈倒置的金字塔形，所述金字塔形下部连接有进砂机构，管道层（201）和工作层（202）之间设有隔板（7），所述隔板（7）下表面设有照明灯（8），工作层（202）和收集层（203）之间设有滤板（9），喷砂箱箱体（2）下部设有立柱（10）；所述收尘箱包括收尘箱箱体（11），所述收尘箱箱体（11）分为上下两层，所述上层和下层内分别设有收纳盒（12）和涡流风机（13），上层后部与收尘机构连通；所述进砂机构包括储砂罐（14），所述储砂罐（14）中部呈圆柱形、上下两端呈锥形，储砂罐（14）与所述压力罐（1）连通，储砂罐（14）上端和下端分别与收集层（203）下端和进砂机构连通，储砂罐（14）上端与收集层（203）下端之间设有电磁阀（15）；所述喷砂机构包括三通接头（16）和分别位于三通接头（16）出口两端的喷砂头（17）和喷气头（18），所述三通接头（16）进口端与储砂罐（14）连通，所述喷砂头（17）和喷气头（18）均穿过隔板（7）且端头朝下，所述喷气头（18）与三通接头（16）之间设有滤网（19）；所述收尘机构包括喷砂箱箱体（2）工作层（202）后部的收尘仓（20）、工作层（202）内部后端两侧的导轨组、工作层（202）内部后端一侧的丝杆（21）、导轨组内的挡板（22）和工作层（202）后端底部的调节机构，所述收尘仓（20）前端与喷砂箱箱体（2）工作层（202）后表面固定连接、后端与收尘箱箱体（11）上层后部连通，所述挡板（22）呈矩形，挡板（22）中部设有开槽，挡板（22）底部一侧设有滑块（23），所述丝杆（21）两端分别与隔板（7）和滤板（9）转动连接，所述滑块（23）套合在丝杆（21）上，所述调节机构穿过喷砂箱箱体（2）工作层（202）后部和导轨组与丝杆（21）传动连接。